FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

超高感度煙検知システム VESDA　※動画あり

火災が拡大する前の微量な煙を早期に発見！人命・設備・財産を火災から守り…

超高感度煙検知システム「VESDA」は、吸引式煙検知（ASD）により、パイプから吸引した空気の解析することで極微量の煙粒子を検知し極めて早期に火災発生を検知します。 一般的な煙感知器の作動濃度(10％/m)に比べ、10,000倍の超高感度を誇る煙検知システムです。 早期に火災を特定し、対処や避難が可能になることで人命・設備・財産を火災から守ります。 天井まで届かないような微量な煙でも検知...

メーカー・取り扱い企業： 日本ハネウェル株式会社 本社