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高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両…
6インチウエハ対応の小型スピン現像装置。スイング式ノズルによるスプレー現像の他、パドル現像も行なえます。 プログラム入力により現像→リンス→振り切りの一連動作を連続して行なうセミオート方式デベロッパーです。...
メーカー・取り扱い企業: アクテス京三株式会社 技術センター
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簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベ…
用途、ご予算に応じてカスタマイズできますのでお問合せ下さい。 又、搬送機構を持たない汎用機もございます。...スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。...
メーカー・取り扱い企業: アクテス京三株式会社 技術センター
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