• FOOMA JAPANに実機出展!世界で選ばれ続ける真空ポンプ 製品画像

    FOOMA JAPANに実機出展!世界で選ばれ続ける真空ポンプ

    PR従来の油回転ポンプと比較し最大30%の省エネ(当社比)!まずは評価機で…

    【製品説明】 世界で300万台以上のR5ロータリーベーン真空ポンプが使用されています。ブッシュのロータリーベーン技術が長きにわたり業界のスタンダードとして確固たる地位を築いてきた理由の一つが、その優れた堅牢性と信頼性です。R5 RDシリーズはその優れた特質を受け継いだ最新モデルです。 【特長】 ■ 高いエネルギー効率  従来のロータリーベーン真空ポンプと比較した場合、最大で30%の省エネを実現(...

    メーカー・取り扱い企業: 日本ブッシュ株式会社

  • ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SST/SSXシリーズ 製品画像

    ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SST/SSXシリーズ

    PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

    ◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 化合物半導体プロセス用 ICPエッチング装置 製品画像

    化合物半導体プロセス用 ICPエッチング装置

    化合物半導体プロセス用 ICPエッチング装置

    -330iPCは、放電形式に誘導結合方式(Inductively Coupled Plasma)を 採用した化合物半導体プロセス用多数枚処理エッチング装置 【特徴】 ○Φ330mmの大型トレーに対応  Φ2インチウェハーなら27枚、Φ2.5インチウェハーなら17枚、  Φ3 インチウェハーなら12枚、Φ4インチウェハーなら7枚、  Φ6インチウェハーなら3枚同時の処理が可能 ○...

    メーカー・取り扱い企業: サムコ株式会社

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