ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ルーツブロワ　※2020年度 省エネ大賞受賞製品あり

脈動の低減や特殊ガス対応など様々なニーズに合わせた製品を提供。省エネ型…

が出せ、左・右回転が可能な2葉式 ●TSSシリーズ/TSAシリーズ 小容量クラスでありながら、効率を追求。定風量特性に優れた低騒音な3葉式 ●SSRシリーズ 風量・圧力特性に優れ、ドライ状態のまま吐出圧力58.8kPaで使用可能な3葉式 ※詳しくは、PDFダウンロードよりカタログをご覧ください。 　お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 大晃機械工業株式会社 陸上事業部