ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

二方向ベルト粗研磨機『OSK 997SM B』

切断時に発生するバリの研磨などに好適！二方向研磨方法で、作業効率が上が…

発生するバリの研磨やサンプルの予備研磨に適しており、 エンドレスベルト式の二方向研磨方法で、作業効率が上がります。 また、研磨屑は排水と共に排出され、非常停止ボタン付きです。 研削方法はドライ、ウェットとなっております。 【特長】 ■エンドレスベルト式の二方向研磨方法で、作業効率が上がる ■研磨屑は排水と共に排出 ■非常停止ボタン付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただ...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社