ドライアイスペレット

PR自社製造の円筒状で小さい粒(Φ3mm)状のドライアイス

『ドライアイスペレット』は、円筒状で小さい粒(Φ3mm)のドライアイスです。 弊社では本社工場に製造装置（ペレタイザー）を導入しています。 ドライアイスブラスト（洗浄装置）の普及により需要も増えています。 小粒の形状なので冷熱を効率よく商品に与えることが可能。 角型のスライスタイプに比べ、必要量の調整が簡単。 角がなく、丸みのある形状のため、商品が傷つきません。 ドライアイ...

メーカー・取り扱い企業： 宮原酸素株式会社

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SSHシリーズ

省エネ運転が可能で、モニタリング・保護機能を搭載した次世代型ドライポン…

豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを有したスマートドライポンプです。 ●独自設計の面シールスクリューロータにより、ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。 ●排気速度重視の「パワーモード」、省エネの「エコノミーモード...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

メカニカルブースタ　SMB-Cシリーズ

【省エネ】最少の消費電力で排気能力を最大化するメカニカルブースタ

後段の真空ポンプ（ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ）と組合せることで、小さな動力で排気速度を大幅に増やし、到達圧力を1～2桁低くできます。 ●排気効率が非常に高く、省エネで排気速度と到達圧力の向上が...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店