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PR“超低湿度保管”が可能な省エネ機能付き防湿庫&給水なしで加湿できる恒湿…
当社では、湿度管理に役立つ製品をラインアップしています。 <防湿庫『ドライ・キャビ』超低湿度型HYPシリーズ> 超高速除湿型のHYPシリーズと高速除湿型のDUSシリーズを用意しています。 ■1%RH以下の超低湿度を保持可能 ■湿度設定と自動省エネの機能が付いて更に高性能化 ■使いやすい全面ワイドドアで横長のものも出し入れ簡単 ■庫内に100V電源用差し込み口付き ■ドライユニット...
メーカー・取り扱い企業: トーリ・ハン株式会社
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厚膜フッ素樹脂コーティング対応立形ドライ真空ポンプTRVシリーズ
PR酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(2…
ケミカルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。 ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 独自の立形構造は、ガス流路が上部から下部へ流れるように配置されており、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・回収...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社宇野澤組鐵工所
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半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカ…
【半導体製造装置向け圧力センサ各種】 半導体製造装置に使われるガスの圧力制御には高い精度が要求されます。ドラックでは半導体装置のサブシステム内の圧力を計測するセンサ、ドライ・エッチングのマスフロー・コントローラに使用できる高精度の圧力センサ、大気圧計など。 ■ADROITシリーズ: 今年登場の新製品。デジタル温度補正機能を搭載したアナログ圧力センサ。温度変化の...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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