ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【WIKA技術情報】ドライウェル温度校正槽での総合不確かさ改善法

ドライウェル温度校正槽、高精度温度計、高精度Pt100温度センサを用い…

WIKAでは、ドライウェル温度校正器での不確かさを最小限にするためのソリューションを提供しています。 精度を左右する要素である不確かさには、周囲環境や計測機器など、あらゆる原因により大きくなります。これらのすべての...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

超高純度用クリーン・ドライ・エアー用圧力計PGU／PGCシリーズ

システムの正圧および真空のモニタリングが可能で、バルク・ガス供給から半…

目盛板の外径サイズ： 40 mm、50 mm／ASME B40.1 に準拠した精度／エンド・コネクションの材質：316L VAR ステンレス鋼（PGU シリーズ）／形状：背面取り付け用（センター接続）、下部取り付け用...1/4インチVCR接続及び1.5インチMSMに対応！ TUシリーズ 超高純度用圧力計 ■□■特徴■□■ ■システムの正圧および真空のモニタリングが可能 ■バルク・...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

ファイファー社　OmniControl シリーズ　

ファイファー社製新型コントローラです。 １～２ch の真空計と真空ポ…

測定チャンネル　：　1 or 2 チャンネル 測定可能範囲　：　atm～5×10e-8 Pa ターボ分子ポンプ排気速度　：　10～1900 l/s ドライポンプ排気速度　：　10～35000 l/m メモリ接続ポートオプション　：　USB or MicroSD 入力　：　100～240 VAC 寸法　：　1/4" ラックサイズ...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

汎用耐振型マグネット式ギヤレス圧力計『GMG型』

耐振型で封入液漏れ問題から解放！ブルドン管、継手は黄銅とステンレスの2…

『GMG型』は、多目的汎用仕様のギヤレス圧力計です。 マグネット式ギヤレス耐振内機で長寿命。ドライタイプの 耐振型で封入液漏れ問題から解放されます。 また、縁なし、壁掛け、パネル埋込型の3種類のケース形状で、 ブルドン管、継手は黄銅とステンレスの2種類をご用意しています。 【特...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岡田計器製作所 本社