【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現

PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

非接触クリーナー 「RD series」※デモ可能

圧縮エアーで微粒子塵を除去するため、ワークへの影響が小さいクリーナー。…

非接触クリーナー 「RD series」は、ドライエアー洗浄方式により製品に触れる事無くクリーニング可能な非接触タイプのクリーニング装置です。 枚葉製品やロールtoロールのラインでのお客様の様々なご要望に対応します。 【特長】 ■非接...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

『非接触式クリーナー 除塵装置』　※デモ実施可能

【必見‼】異物除去でお困りの方。 「プリント基板・金属箔・PET…

極力、接触させたくないデリケートな素材や接触式(特にロール)では困難だった凹凸部のクリーニングが可能です。また非接触式の為、ワークへの影響を最小限に抑えられます。 ◆低ランニングコスト ドライ洗浄方式の為、水・薬液の交換や高コストなインフラ整備が不要です。 また主な消耗品はフィルタのみで低ランニングコストを実現しました。 ◆用途：プリント基板や金属箔、PETフィルムなどの製造工...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社