超低湿度用防湿庫『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』

PR新型デジコンと高精度湿度センサー採用！ドライユニット内の特殊乾燥剤は半…

『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』は、新型デジコンにより庫内の湿度を 正確にコントロールできる超低湿度用防湿庫です。 高精度湿度センサーの採用により正確に表示することが難しかった5％RH以下の 湿度を正確に表示。超高速除湿のHYP・DUSに湿度設定と自動省エネの機能が 付いて高性能化しました。 使い易い全面ワイドドア（マグネットパッキン式）で、中央支柱がないので、 横長のもの...

メーカー・取り扱い企業： トーリ・ハン株式会社

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

静電気除去イオンバー SLシリーズ：ベッセル

コンパクト＆スリムデザインを採用。幅広除電。あらゆる作業環境に対応する…

コロナ放電式 印加電圧：10.5kVp-p (SH-G3 に接続した場合) 周波数：30Hz (SH-G3 に接続した場合) エアー接続：ホース外径6mmx内径4mm エアー供給：クリーンドライエアーまたは窒素ガス（0.3MPa以下） 環境温度・湿度：5～55℃ 25～85%RH（ただし結露氷結のないこと） 使用距離：50～2000mm程度（100mm以上離す場合は必ずエアーを供給）...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

イオンパーツクリーナーフード IPC-S60：ベッセル

開口幅500mm。イオンブローで大型ワークの除電除塵に。

体外装材質：SUS304 内蔵除電装置：静電気除去装置C-60　1台 ブロー運転：連続 /パルス 100,180ms 間欠 オフディレイ：なし/1/3/5/10/30秒 使用流体：クリーンドライエアー 幅×奥行き×高さ(mm)：W620×D400×H440(突起部含まず) ※集塵機別置きタイプです。集塵機はお客様でご用意ください。 詳しくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

静電気除去ACパルスイオンバー SH-60：ベッセル

幅広除電、あらゆる作業環境に対応するサイズ展開

印加電圧：10.5kVp-p 周波数：30Ｈz パルス比：＋側 40～70％、－側 60~30％（SH-G3により調整可能） エアー接続：ホース外径Φ６ｍｍx内径Φ４ エアー供給：クリーンドライエアーまたは窒素N2（0.5MPa以下） 環境温度・湿度：5~55℃ 25～85%RH（ただし結露氷結のないこと） 使用距離：50～2000mm程度 オゾン発生量：0.05ppm以下 除電...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社