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PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…
◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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水を使用しない断面試料の作製が可能!「ドライ断面加工」についてご紹介
「ドライ断面加工」は、断面試料作製において、機械研磨は広範囲を 観察・分析する有効な手法です。 しかしながら、樹脂に埋めて、水を使用しながらの研磨になります。 水分を嫌う試料は、断面作製が困難で...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クオルテック
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断面イオンミリング装置を用いることで、樹脂に埋めず、水を使用しない断面…
断面試料作製において、機械研磨は広範囲を観察・分析する有効な手法です。 しかしながら、樹脂に埋めて、水を使用しながらの研磨になり、水分を 嫌う試料は、断面作製が困難でした。断面イオンミリング装置を用いることで、 樹脂に埋めず、水を使用しない断面試料の作製が可能です。 【特長】 ■厚みのある試料はハサミなどで切断し、断面ミリングで仕上げ加工を行うことで、 歪みのない断面構造を観...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クオルテック
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試作品から量産品まで受注対応可能!"まずは、やってみる"をモットーにト…
【その他の保有設備】 <フェムト秒グリーンレーザ> ■製品の品質を左右する要因である「ほこり」を除去することで、加工環境の清浄度をアップ ■感光性のドライフィルムやフォトレジストの加工なども可能 ■静電気が抑えられている事で、部品実装された基板であっても加工可能 <UV-YAGレーザ> ■銅に対して吸収があるため、未処理の銅箔をそのまま加工す...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クオルテック
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