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PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…
◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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スチームの力で汚れを落とし、バキュームするスチーム洗浄機
●高い洗浄・除菌効果 160℃のスチームと洗剤を同時に噴射します ●バキューム機構付き 排水設備のない現場や、ドライ管理したい現場に最適です ●飛び散らず乾燥が速い 高温スチームを低圧噴射するため、水の飛び散りがありません ●無臭・無煙 電気式なので臭いや煙は出ません ●連続運転 清水の補充が...
メーカー・取り扱い企業: 蔵王産業株式会社
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新型デジコンと高精度湿度センサー採用!ドライユニット内の特殊乾…
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電子機器の受託開発・設計(ハードウェア、FPGA、ソフトウェア)
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