『ナノ位置決めステージ』『レーザ干渉式変位センサ』

ナノオーダーの高精度位置決めと、1ピコメートルのセンサ分解能による変位…

当社は、attocube社製の半導体製造装置向け『ナノ位置決めステージ』や 『レーザ干渉式変位センサ』を取り扱っています。 高精度の位置決めを実現でき、数kgの荷重量に対応したステージなど 様々なニーズに応えられる製品をラインアップ。 クローズドループ制御に対応しており、精密な制御を実現可能です。 非常にコンパクトで、装置への組み込みも容易に行えます。 【製品ラインアップ】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー