実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD（原子層堆積）装置』

PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…

ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

蒸発・濃縮装置『Sorae(ソラエ)』

廃液をバブリングしながら加熱し、水分を蒸発！シーケンサでデータ分析し、…

【メカニズム】 ■廃液をバブリングしながら加熱し、水分を蒸発させる ■蒸発させながら、廃液を蒸発室に継ぎ足し補充することで蒸発効率を上げる ■設定した温度または濃縮回数に達すれば、濃縮液を自動排出する ※詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コンヒラ 神戸支社