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実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD(原子層堆積)装置』
PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…
ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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最高加熱温度1400℃!金属やセラミックスの高速昇温、加熱・冷却サイク…
【仕様】※一部抜粋 ■加熱ゾーン:70×70×2tmm ■最高温度:1400℃(保持可能) ■昇温速度:50/sec(試料の熱容量によって異なる) ■炉内雰囲気:大気中、真空中、ガス中、バブリング中 ■対応オプション:均熱サセプター、急冷ノズル、自動運転 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社米倉製作所
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