ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ（自動メカ付） ○扉センサー（自動メカ付） ○圧力スイッチ ○温度センサー（恒温度仕様） ○自動消火システム（有機用） ○パトライト ○網入りガラス又は強化ガラス（有機用） ○爆圧ハッチ（有機用） ○各種インターロック 等 ※装置により一部機器は取付できない場合もございます 。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

レジスト剥離洗浄装置　※テスト可能機種あり

循環方式が多彩なウェットプロセス洗浄装置

センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ（自動メカ付） ○扉センサー（自動メカ付） ○圧力スイッチ ○温度センサー（恒温度仕様） ○自動消火システム ○パトライト ○網入りガラス又は強化ガラス ○爆圧ハッチ ○各種インターロック 等 ※装置により一部機器は取付できない場合もございます。 ※当社の東京テストセンター（東京都墨田区）にて、テスト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン