EESパッケージ

半導体製造装置が正常に機能しているかを装置データでチェック！装置の信頼…

『EESパッケージ』は、低価格でEES（装置エンジニアリングシステム）を 構築し、装置の生産性向上を実現するためのパッケージです。 ユーザーによる通信プログラム作成は不要。必要なパラメータ設定のみでOK。 既設システムにも接続が容易です。 また、メタデータ定義 (パラメータリスト/イベント収集/トレース収集)パラメータ値の 変化をトリガとしたイベントを定義可能です。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラポールシステム