【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

XGS600　真空計

大気圧から超高真空までの計測が可能！広帯域型の真空計です。

-1 Pa） ○B/Aゲージ（2.7×10-8 ～ 1×10-1 Pa） ○キャパシタンスダイアフラムゲージ （1.33×102 ～ 1.33×105 フルスケール） ○フルレンジゲージ／ピラニ－コールドカソードゲージ （5×10-7 Pa ～ atm） ○フルレンジゲージ／ピラニ－B/Aゲージ（5×10-8 Pa ～ atm） ○ヌードイオンゲージ（6.7×10-10 ～ 1×1...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

真空計の校正装置

真空計の校正方法 JIS Z 8750 に準じた装置です。ご要望に応じ…

真空計の校正方法 JIS Z 8750 に準じた装置です。中真空領域を測定する真空計（主にピラニ真空計などの熱伝導型真空計）を校正するのに最適です。ご要望に応じて簡易型も製作可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岡野製作所