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低電圧駆動で洗浄可能な真空圧センサーです。半導体製造装置向けの高真空度…
MEMSピラニ式真空センサー「PVC1000シリーズ」は、超低消費電力、長寿命、最小限のメンテナンス、低コストを実現しつつ、真空測定手段の小型化を実現いたします。 測定範囲 10^-3~30 mmHg ...
メーカー・取り扱い企業: オールデバイス株式会社
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