インパクト2 フィルター

交換が容易なフォトレジストのPOUフィルター

超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレンは、レジスト通液前の置換が不要。 専用のマニホールド（別売品）を使用することにより、簡単な操作でフィルターを交換できます。 液の流れに淀みがない流路とデッドスペースの最小化により、省レジストに貢献。 多様なニーズにお応えできる孔径ラインアップをご用意。 ...【主な仕様】 除粒子径：　0.01, 0.02, 0.05, 0.1, 0.2 µm ...

メーカー・取り扱い企業： 日本インテグリス合同会社