ナノパターン露光装置『PhableR 100』

回折限界を超えた解像度を実現！低コストで周期構造を作製できる露光システ…

『PhableR 100』は、高解像度の周期構造を作製できる低コストの 露光システムです。 フォトレジストをコートし、プロキシミティにマスクセットして露光。 独自の技術により、回折限界を超えた解像度を実現。 サブミクロンスケールのグレーティングや六方配列/三方配列の2Dパターン 作製が行...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協同インターナショナル