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好評につき改訂版完成! 感光性樹脂・原材料の研究開発、配合、使用、製…
第1章 リソグラフィーの概要 第2章 フォトレジストの塗布 第3章 露光技術 第4章 露光後ベーク(PEB)と現像 第5章 g線,i線レジスト(ノボラックレジスト)の評価技術 第6章 KrF・ArF用フォトレジストの評価技術 第7章 ...
メーカー・取り扱い企業： S&T出版株式会社
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