【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

大型鋳物 ターニング加工【加工事例集を進呈】

PR500～4000ミリの中・大物の工作機械、半導体製造装置などの実績多数…

工作機械、半導体製造装置・各種検査装置部品、船舶・発電機部品、専用機部品、プラント部品などあらゆる鋳物製品の切削加工を行っており、精度や外観に厳しい製品の仕上がりで定評を頂いております。 設備は大型ターニング（立旋盤）３台、五面加工機２台、門型マシニング２台、横中ぐりマシニング3台、大型5軸加工機、立形マシニング7台、平面研磨機など多彩な加工機を保有。 500～4000ミリの中・大物鋳物を高精度で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＳＳ西川機械

ライボルト社ターボ分子ポンプ

オイルフリー・メンテナンスフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。 …

セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 ローターステージとドラッグステージにより、N2はもちろん、H2の 圧縮比・排気速度・スループットが大きい設計になっています。 コントローラは、装置組込み用廉価版コントローラと、ラック型 コントローラがあります。 ...＜主な仕様＞ 排気速度：90 l/s～450 l/s 到達圧力：5×10e-8 Pa フランジ：ICF、ISO-K ...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

ファイファー社ターボ分子ポンプ

オイルフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。

セラミックベアリング型及び磁気浮上型の高性能ターボ分子ポンプです。 ..."＜主な仕様＞ 排気速度：10 l/s～2,950 l/s 到達圧力：5×10e-8 Pa フランジ：ICF、ISO-K、ISO-F 取付位置：自由 冷却方法：自然空冷・強制空冷・水冷 弊社ではライボルト社・ファイファー社・エドワーズ社・アジレント社 のターボ分子ポンプを販売しております。 仕様はカタ...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

エドワーズ社ターボ分子ポンプ

オイルフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。

"セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 客先にてベアリング軸受けの交換も可能です。" ..."＜主な仕様＞ 排気速度：84 l/s～400 l/s 到達圧力：5×10e-8 Pa フランジ：ICF、ISO-K 取付位置：180°（水平まで） 冷却方法：自然空冷・強制空冷・水冷 弊社ではライボルト社・ファイファー社・エドワーズ社・アジレント社 のターボ分子ポンプを販売...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社