低価格オールメタルアングルバルブ　SERIES 54.1

（極）UHVアプリケーションの真空プロセス用

-シールはFLEX VATRING方式 -シール面の変形は弾性変形の範囲内 -標準的な六角レンチ、トルコ管理不要 -コンダクタンス大 -FLEX VATRINGは2回まで交換可能...リーク量（バルブボディ、バルブシート）: < 1 × 10-10 mbar ls-1 使用圧力範囲: XHV to 2 bar (abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 2 bar バ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

振子式高真空バルブ　Series 16.2

コンパクトな真空封止用バルブ

-バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない -ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能 -分解、クリーニング後の調整不要...サイズ: DN 200-550mm (8“ – 22“) アクチュエータ 圧空作動式: 単動シリンダー 、閉動作はスプリング（NC） 3位置圧空作動式: 単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC） ボディ材質: アルミニウム 軸シ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

フラット真空パッド SPK

表面の粗いワーク・凹凸のあるワークに幅広く対応！

フラット真空パッド SPKシリーズは、ワークを強力にグリップするためのニトリルゴム（NBR、ショア硬度 70°）と、追従させるためのフレキシブルな発泡ゴム（EPDM、ショア硬度 15°）を組み合わせた吸着パッドです。 装飾のあるガラスや縞鋼板などの凹凸のあるワーク、天然石など表面の粗いワークに最適な真空パッドです。 多種多様な形状・サイズのワークに合わせたパッドの選択が可能で、また、最適化され...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

ソフト排気用アングルバルブ　Series 29.0

大きな差圧に対応可能！

-大きな差圧対応 -絞り開口部はメモリでの設定が可能 -アングルおよびインラインボディ...リーク量 バルブボディ、バルブシート : 1 × 10 – 9 mbar ls 1 使用圧力範囲 DN 63-80: 1 × 10 – 8 mbar～4 bar (abs) DN 100-160: 1 × 10 – 7 mbar～2 bar (abs) プレートにかけ得る許容...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

高真空ゲートバルブ　SERIES 09.1

0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能な高真空ゲートバルブ

0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能 -真空封止アプリケーション用の高真空ゲートバルブ -ウェッジシールにより圧力差があっても開け閉め可能...機能 くさび型のプレート&受け（特許取得のウェッジシーリング）により、圧力差があっても開け閉め可能です。O-リングがデポ物を掻き取るため、リーク量を低減いたします。 頑丈 1. 真空に触れる大部分はステンレススチールです 2. 真空中...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社