フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

直動システム｜ラック＆ピニオン直動システム

PRボールねじ搬送のたわみ・速度制限・大口径化・モータ大型化の悩みを解決！…

当社のラックアンドピニオン直動システムは、“高精度・高速・高搬送力・高耐久・長尺”を兼ね備えます。搬送重量がトンクラスでも高速・高精度に搬送可能。ラックはマシンベッドに直接設置の為、ボールねじで発生する”たわみ”の心配は不要です。 バックラッシ最小1arcminの遊星歯車減速機と、累積ピッチ誤差最小30μm／1000mmのラックにより、非常に高精度な位置決めが可能。ラックは最長2mですが、並...

メーカー・取り扱い企業： ストーバー・ジャパン株式会社

XYZ 3軸 ナノマニピュレータ/プローバ

SEM、FIB、光学顕微鏡観察下でのナノ/マイクロ マニピュレーション…

UP-100UはナノメートルレベルでXYZ3軸および回転軸の動作が可能なマニピュレータ/プローバです。市販のSEM/FIB/光学顕微鏡と組み合わせることにより、マイクロ/ナノメータスケールでのマニピュレーション/プロービングなど様々な用途に利用できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユニソク

ナノ・マイクロ回転ステージ UMP1000Rシリーズ

大気中・真空中・低温環境での試料やプローブの回転動作・角度微調整に対応

集束イオンビーム装置(FIB)等に組み込むことが可能です。(詳細はご相談になります) 回転角度が検出可能な機種もオプション設定しております 。 当社製XYZ 3軸ナノマニピュレータ/プローバのZステージを取り付けることにより、XYZ＋R(回転)の4軸ステージ対応が可能です 。 Windows PCを用いた簡単操作を実現しました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユニソク

プローバー　VX-3000SV

ユーザーのあらゆる要望にも簡単に対応できます。

国内メーカーで初めて製品化した１２“ウェハー対応セミオートプローバーです。...

メーカー・取り扱い企業： ベクターセミコン株式会社