直動システム｜ラック＆ピニオン直動システム

PRボールねじ搬送のたわみ・速度制限・大口径化・モータ大型化の悩みを解決！…

当社のラックアンドピニオン直動システムは、“高精度・高速・高搬送力・高耐久・長尺”を兼ね備えます。搬送重量がトンクラスでも高速・高精度に搬送可能。ラックはマシンベッドに直接設置の為、ボールねじで発生する”たわみ”の心配は不要です。 バックラッシ最小1arcminの遊星歯車減速機と、累積ピッチ誤差最小30μm／1000mmのラックにより、非常に高精度な位置決めが可能。ラックは最長2mですが、並...

メーカー・取り扱い企業： ストーバー・ジャパン株式会社

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

プローバー　真空＜低温＞プローバーシステム

低温から高温まで豊富なオプションで様々な要求に対応致します。

真空＜低温＞プローバーシステムSB-MCPSシリーズは、多種の低温・高温オプションをご用意し、様々な温度領域に対応するプローバーです。 プローバーシステムは標準システムの他に低温・RF・磁場を合わせたスピントロニク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社システムブレイン 東京営業所

簡易型室温プローバー（温度勾配機能・顕微赤外カメラ付属）

・直接サンプルに熱を与える温度勾配生成ユニット搭載 ・顕微赤外カメラ…

簡易型室温プローバーにサンプルの一部に熱を加え温度勾配を生成できるユニット、及びに観察のため顕微赤外カメラユニットを搭載した特注システム...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社システムブレイン 東京営業所