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PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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各種研究開発、材料開発等に幅広く対応できる成膜装置。多様性・拡張性を持…
・最大ガス導入量: 1) Max.50sccm(Ar) 2) Max.10sccm(O2) 3) Max.10sccm(N2) ・ターゲットサイズ: φ2インチ ・チャンバーベーキング: ● 110°Cベーク(チャンバー水冷込) ※オプション ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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