【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

静電気対策　静電チャック用プロセステープ　STチャックテープ

ガラスウェハーを静電チャック！　優れた導電性能・耐薬品性能・耐熱性能！…

半導体設備で転用可能 〇透明性が高く、フィルムの上から画像認識が可能 〇低アウトガス、低イオンコンタミによりプラズマ工程も安心して使用可能 〇基材・粘着剤が耐熱・耐薬品性を有しているため、ベーキング・薬品洗浄などで使用可能 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： アキレス株式会社 工業資材販売部

ウエハー用導電性耐熱保護テープ（静電チャック）

PI、PENを使用した導電性耐熱保護テープ。MEMS、CMOS、IGB…

半導体設備で転用可能 〇透明性が高く、フィルムの上から画像認識が可能 〇低アウトガス、低イオンコンタミによりプラズマ工程も安心して使用可能 〇基材・粘着剤が耐熱・耐薬品性を有しているため、ベーキング・薬品洗浄などで使用可能 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： アキレス株式会社 工業資材販売部