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スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型
対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します!
【仕様】 ○外形 W2300×D2300×H1850 ○ローダー:1カセット収納 ○カップ:SUS304テフロンコート ○ディスペンサー:空圧式ダイアフラム方式 ○圧送タンク:レジストボトル用 ○カップ自動洗浄:アセトン、ベローズポンプ ○気液分離タンク:SUS304 ○露光機:オプション ○現像用カップ:SUS304テフロンコート ○ベーク炉:ホットプレート、真空チャンバ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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