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スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型
対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します!
自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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