【DL可STEM/EDS】STEM/EDSによる半導体絶縁膜評価

STEM-EDS観察は半導体のPoly-Si(ポリシリコン)間の絶縁膜…

STEM(走査型透過電子顕微鏡 )とEDS(エネルギー分散型Ｘ線分析装置)では細く絞った電子線を試料上で走査することで、試料の組成に関する情報（原子番号を反映したコントラスト像）が取得できます。 加えて以下の特長もあります。 ・電子線の入射角度を変えることで、回折コントラストの変化を観察 ・観察対象が結晶質であるかの判断 ・結晶内にある結晶欠陥（転位、双晶等）の情報の獲得 本事例では...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

分析・解析機器　全自動気相分解装置「Expert(TM)」

シリコンウェーハ中の不純物分析に欠かせない全自動気相分解(VPD)装置…

の自動化を実現 ◯VPDシステムからICP-MSへの移送中に起こる汚染のリスクを回避 ◯二段構造のスキャンノズルを用いて、高濃度サンプル溶液の自動希釈が可能 ◯特殊VPDチャンバーにより、ポリシリコンのエッチングが可能 ◯12インチFOUPに対応 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IAS Inc. IAS Inc.

液晶関連検査機

液晶関連検査機などの設計・開発を承ります！

発した検査機が使用されています。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【営業品目】 ■LCD関連検査機 ■エージング装置 ■STN ■TFT ■OLED ■低温ポリシリコン　など ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テイク・システムズ