高圧ポンプユニット　KPWシリーズ（組込用）

PRエア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込…

『KPWシリーズ』は、高圧ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。 エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。 【特長】 ■小型な組込用ポンプユ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

スプリング荷重式シール　/　PTFE製シールパッキン・ガスケット

PRNMPや電解液にも対応！無潤滑・極低温や耐薬品性・耐熱性が求められる過…

PTFEの特性（低摩擦性・耐熱・耐薬品性など）にスプリングの弾性力による追従性を持たせたシールパッキンです。 「液体水素」や「研磨性流体」「無潤滑摺動」「高速かつ高圧」等、様々な条件に対してシールテックの35年に渡る販売実績とノウハウで貴社用例に対応します！ シールテックがご提案するスプリング荷重式シールで、シールパッキンの困りごとを解決します！ 【特長】 ■ 固定用・運動用シールともに使用可能...

メーカー・取り扱い企業： シールテック株式会社 本社、大阪営業所

自吸式ゴムライニングスラリーポンプ『ラバーセルポンプ』

研磨液・ケミカルスラリーの移送用途に好適！耐摩耗性・耐腐食性に優れたポ…

『ラバーセルポンプ』の「SM-RZ series」は 研磨液・ケミカルスラリーの移送用途に適したスラリーポンプです。 接液部にはゴムライニングを採用し、研磨剤等の移送ポンプに 求められる耐摩耗性と、酸性液...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社みつわポンプ製作所