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高性能・高圧 多用途ポンプ 【プラステコ】 L.TEXシリーズ
PR小流量から大流量、水状から高粘度まで、様々な流体の定量送液ならプラステ…
用途によって選べるタイプ!! ●ポンプ単体(装置組込式) ●制御部一体型 標準で最大40MPaまでの高圧送液に対応するプランジャ-ポンプです。 当社の主力製品である『超臨界不活性ガス定量供給装置』においても多数実績があります。 最大流量は 10mL/min ~ 1000mL/min と幅広く豊富な機種をご用意しておりますので、 研究・実験用途に適した小流量から量産向けの大流量まで、ご使用目的に...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社プラステコ 本社
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浴槽保温ヒートポンプ『bath Hi-PON(バス・ヒーポン)』
PR【関東圏限定販売】 浴槽保温コストを40%~70%削減 二酸化炭素排…
従来のヒートポンプではお風呂の水質に対応できないため、ヒートポンプで高温の温水を作り熱交換器を介してお風呂を保温していました。 今回の新商品は新開発の熱交換器ユニットとヒートポンプユニットの組み合わせによりお風呂の循環水を直接加熱ができるようになりました。 直接加熱が実現したことにより、省エネ性が高い運転を実現しながら、 バッファタンクと循環ポンプが必要なくなるため、従来と比較して安...
メーカー・取り扱い企業: サイエンス株式会社
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化合物半導体プロセス用 ICPエッチング装置
ングが可能 ○低バイアス(-100V以下)での低ダメージプロセスが可能 ○基板ステージおよび反応室内壁の温度制御により、安定した条件での エッチングが可能 ○ロードロック室にもターボ分子ポンプを採用し、より安定したプロセスを提供...
メーカー・取り扱い企業: サムコ株式会社
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ICPエッチング装置 RIE-800iPC/RIE-400iPC
真空カセット室を備え、プロセス再現性や安定性に優れた本格生産用装置をご…
Φ8”ウエハ対応 ■放電形式に誘導結合プラズマを採用 ■真空カセット室を備えプロセス再現性や安定性に優れる ■ウエハとプラズマ間距離を最適化し、良好な面内均一性を確保 ■TMP(ターボ分子ポンプ)や高周波電源をユニット化し、交換が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: サムコ株式会社
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