FOOMA JAPANに実機出展！世界で選ばれ続ける真空ポンプ

PR従来の油回転ポンプと比較し最大30%の省エネ(当社比)！まずは評価機で…

【製品説明】 世界で300万台以上のR5ロータリーベーン真空ポンプが使用されています。ブッシュのロータリーベーン技術が長きにわたり業界のスタンダードとして確固たる地位を築いてきた理由の一つが、その優れた堅牢性と信頼性です。R5 RDシリーズはその優れた特質を受け継いだ最新モデルです。 【特長】 ■ 高いエネルギー効率 　従来のロータリーベーン真空ポンプと比較した場合、最大で30%の省エネを実現(...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

冷熱ブライン循環装置『ブラインチラー』【精密な温度制御！】

PR循環ポンプ１台で冷却加熱ブラインを供給！ブライン供給配管の切替作業不要…

ブラインチラーは、「試験装置・温度制御用」「半導体・完成テスト用」を ご用意した冷熱ブライン循環装置です。循環ポンプ１台で-100℃～+100℃ のブラインを供給します。ブライン供給配管の切替作業は不要です。 【仕様】 ■冷凍方式：混合冷媒・マルチカスケード方式 ■加熱方式：電気ヒーター・ホットガス加熱方式 ■循環ポンプ・ブラインタンク内蔵 　◎循環量：10～20L/min　◎揚程：10～15m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マック

真空UV硬化装置『ＫＮＵＶ－１』

真空環境下でのＵＶ照射により硬化処理効率ＵＰ！ 最大８インチまでのウ…

Pa)での 酸素濃度⇒ ０．００１％◇ 主要性能 ・到達圧力： 6.0Pa 以下 ガスバラスト閉時） ・リークレート： 10.0 Pa/min 以下 最大排気速度 500L/min ドライポンプを使用 ビルドアップ基準値： 1.0Pa ・ L / sec をチャンバー容積に換算 ・ UV 照射性能 高圧水銀ランプ採用により、短時間高出力 UV 照射を実現 例） 積算光量： 27....

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社

小型プラズマクリーナー『KNPC-1』

12インチリング付きウェハ処理が可能！ 表面改質、無機物/有機物汚染…

速、低価格 ★ 様々なオプション機能 ★ 300mmウェハ、矩形基板への対応可 [ 主要性能] ・到達圧力：6.0Pa以下(ガスバラスト閉時） 　　※最大排気速度500L/min ドライポンプを使用 ・リークレート：1.07 Pa/min以下 　　※ビルドアップ基準値：0.1Pa・L / sec をチャンバー容積に換算※ビル　　　　ドアップ基準値：0.1Pa・L / sec をチャ...

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社

同軸バレル型アッシング装置

同軸バレル型プラズマ装置

造：円筒・石英チャンバー 高周波出力(Max)：1KW 発振周波数：13.56MHz水晶発振器 チャンバー寸法（内寸）：Φ300×500mm チャンバー材質：石英 反応ガス 2系統 空ポンプ ドライポンプ（約500L/分） ガス導入口 反応ガス2個、パージ1個、エアー1個...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

株式会社SGC　修理・オーバーホール・再生・中古販売サービス

弊社に御一報下さい。弊社のネットワークでお探し致します。

○電気系修理。 ○ポンプ修理。 ○その他修理・再生・洗浄。 ○分析。 ○中古販売。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＧＣ

株式会社SGC　クライオポンプ修理（オーバーホール）

弊社におまかせ下さい。

【特徴】 ○リペアー方式：予備ポンプをお持ちの場合に適した方式です。 ○エクスチェンジ方式：急での修理（O/H）の場合や予備ポンプが無い場合に適しております。 ○通常、オーバーホールの所要日数は弊社到着後20日間です（但し、状況...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＧＣ

平面ラップ盤

フィルムを用いたワーク端面のラップ仕上げに

り研磨を行います。 スラリーを用いないラップ盤のため、スラリー管理が不要となっております。 オーダーメイドで搬送機付きの全自動ラップ盤とすることも可能です。 【使用用途】 ◆オイルポンプインナーロータ・アウターロータの平面研磨 ◆光ファイバ末端の研磨 ◆気密性が求められる平面合わせ部の研磨 ◆油圧ポンプ部品の端面 　etc ＜サンシンの研磨機が選ばれる理由＞ ■フ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンシン