組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

人工衛星推進用スラスターバルブ・パイロットバルブ・比例制御弁

PR2～20N級の人工衛星推進系用スラスターバルブや パイロットバルブ、…

高砂電気工業は、主に医用診断、環境測定などの分析装置分野にバルブ・ポンプを提供して参りました。 Customization（個別設計）、Miniaturization（小型化）、Integration（統合化）を強みとして、10,000種を超える流体制御機器を開発し、少量多品種生産にノウハウを蓄積してきました。 特に医療分野で培った品質管理の経験を活かし、航空宇宙分野においても高品質・高水準な製品...

メーカー・取り扱い企業： 高砂電気工業株式会社

プラズマドライクリーナー 　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

・卓上型、低コスト、高性能タイプ ・実験用から本格量産まで使用可能 ・RIEモード標準（DPモード切替器はオプション） ・アルゴン・酸素の2系統のマスフローメーターを搭載 ・標準油回転ポンプ付 標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

プラズマ装置　PiPi（ピピ）

小型卓上タイププラズマ装置　PiPi（ピピ）

・スペースを取らず、研究・開発用途に最適 ・使いやすく簡単に処理ができる低コスト装置 ・推奨真空ポンプPD139 ・RIEモード専用...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社