従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現

PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

切削油を使わないNANO水加工【コストダウン事例資料を進呈！】

PR切削油不要！ナノ単位に微細化した水のみを使用した新たな加工技術。工場の…

水道水を「NANO水」発生装置を通過することで水道水に含まれる気体を ナノサイズにまで微細化して水の特性を激変させ、機械加工時の切削油の 代替品としてこの「NANO水」を使用することで、加工工場の課題を一気に 改善する全く新しいテクノロジーです。 すでに加工現場で13年の実績があり、加工精度向上、生産性向上、 工具の寿命延長、工場内の環境改善などを実践しています。 【以下の現場...

メーカー・取り扱い企業： 東京印刷機材トレーディング株式会社

IPAミスト直接置換乾燥装置『IMD IIID』

マランゴニ効果を利用！パワーデバイス製造の薄ウェハの乾燥をターゲットに…

当社の従来製品「IMD III」を使用して薄ウェハの乾燥処理を 行った場合、ウェハとキャリアを分離した際、隣のウェハ同士が 接触する問題が生じ、乾燥不良の原因となっていました。 『IMD IIID』は、純水引き下げで乾燥処理開始後、ウェハ上部が 純水面から出た直後にウェハ上部を保持。 その後、ウェハとキャリアを分離することにより、ウェハ同士の 接触を防止して、キャリアレス乾燥と...

メーカー・取り扱い企業： ワイエイシイメカトロニクス株式会社 つくば事業所　PV事業部

IPAミスト直接置換乾燥装置

IPAベーパーレスとマランゴニ対流を利用したIPAミスト直接置換乾燥装…

当社では、長年のIPAベーパー乾燥装置の設計・製造経験並びに多くの事例で 培ったノウハウをつぎ込み、IPAベーパーレスとマランゴニ対流を利用して 鋭意改善を進め開発した「ウォーターマークレス乾燥装置」をご提案いたします。 洗浄後SiウェハをIPA直接置換乾燥により、大気に曝すことなく、 Siウェハ面を「純水⇒IPA」に直接置換することで、水滴の残留しない 表面を得ることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ワイエイシイメカトロニクス株式会社 つくば事業所　PV事業部