フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ポンプ周り配管部材

PR半透明で接着が確認などが容易な製品などをラインアップ！ポンプ周り

当社で取り扱う「ポンプ周り配管部材」をご紹介いたします。 汚水排水配管や給水配管などにご使用できる幅広いラインナップをご用意しております。 汚水排水配管用部材では、異物混入に対応しているチャッキ弁「DYCV2」や、半透明で施工時の接着確認が容易な製品「DYCVS２」、またステンレス製で耐久性の高い「DYCV-SUS」など、かゆいところに手が届く製品をご用意しております。 また、各種配管に応じてボ...

メーカー・取り扱い企業： 橋本産業株式会社

ディスペンス電動ポンプ

薬液使用量削減の最適ツール

半導体生産ラインで感光材塗布／現像装置で使用されるディスペンスシステム（電動ポンプ）の既存標準ポンプとの置き換えに有効です。元々装置に搭載されている同等ポンプに比べ、高い再現性と材料削減効果が期待されます。海外で...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社