フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

搬送業務を自動化に！ロボットバンクのStarシリーズ搬送ロボット

PRロボットバンク社の自律走行搬送ロボットStarシリーズは、様々な複雑な…

▪️自律走行搬送ロボットラインナップ ・StarShip-様々な環境での運搬自動化を実現 ・StarLift150-昇降式自動搬送ロボット ・StarLift600-最大積載600kg、昇降式自動搬送ロボット ・StarMax200-大容量の荷物積載を実現する搬送ロボット ・StarLight150-パッド一つでロボットを操作可能な搬送ロボット ▪️現場で活用できるか、どの搬送ロボ...

メーカー・取り扱い企業： ロボットバンク株式会社

【ステンレス製】『ルーツ式真空ポンプ』VPシリーズ

化学メーカー・製薬メーカーで採用実績多数有！腐食に強いステンレス製真空…

を持つ オーステナイト系ステンレス鋼(SCS13・14・16)を 採用したルーツ式の真空ポンプです。 凝縮性ガスのほか、腐食性ガスの吸引にも対応。 吸入口径(D1)は50～125mmをラインアップしています。 【特長】 ■ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ■鋳造可能な耐食合金(Ni-Cr-Mo合金等)による製作も可能 ■5つのタイプから使用条件に合わせて選択可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社四葉機械製作所