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半導体CMP装置の研磨治具、3BM(R)リテーナーリング販売開始
3BM(R) 樹脂は、PET樹脂をベースに、CMP(Chemical Mechanical Planarization)用リテーナーリングに最適化した材料です。PPS製リテーナーリングと比較して、約3倍の耐パッド摩耗性を有しています。交換頻度を大幅に低減し、生産性の向上に貢献することができます。また、最先端CMP工程にも使え...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社タイセー 本社
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