ナノメートル位置決め装置 [ポジショニングEXPO出展]

検査効率向上に！リニアエンコーダ内蔵で優れた再現性があるナノメートル分…

独自開発したリニアエンコーダを内蔵したステージとコントローラで構成される装置です。 ステージのエンコーダの読み取り値は逓倍処理後に1nm~100nmの分解能があります。 可動域は20mm~300mm（分解能によりライ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

粉粒体機械向け非接触アブソリュートリニアスケール

高分解能0.5μm +高精度位置検出のリニア変位センサ

自の磁歪技術と回路技術により、位置・速度が検出できる、アブソリュートリニアスケールです。非接触式で、過酷な産業環境下での耐久性に強く、高精度な直線変位計測が行えます。従来式のポテンショメータ、リニアエンコーダ、ロータリーエンコーダ、グラススケール、マグネットスケール、スチールテープ式に代わる画期的なセンサです。SSI出力に、0.5μmの分解能＋直線性補正（オプション）で、より高精度を実現しました。...

メーカー・取り扱い企業： Temposonics

スリム型100nm分解能ステージ（40mm）

エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ

自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルです。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化 ...型式：FS-1040X(S) 分解能：100 nmまたは50 nm（内蔵スケール読み値） 再現性：±20...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社