ナノリソグラフィシステム『NanoFrazor Scholar』

卓上型ナノリソグラフィ直描システム

術は、複雑なナノパターンの描画およびイメージングに使用される超シャープな加熱可能なプローブにあります。 加熱されたチップは、レジストの局所昇華によって任意の高解像度ナノ構造を作成します。その後リフトオフやエッチングのような標準的なパターン転送方法を適用することができます。 またプローブ先端近傍に備えられたセンサーでイメージングを行いながら、パタニングへのフィードバックとトポロジー情報を取得で...

メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

ナノリソグラフィシステム『NanoFrazor Explore』

高機能ナノリソグラフィ直描システム

ープな加熱可能なプローブにあり、複雑なナノパターンの描画およびイメージングを可能としています。 加熱されたプローブの先端は、レジストの局所昇華によって任意の高解像度ナノ構造を作成します。その後リフトオフやエッチングのような標準的なパターン転送方法を適用することができます。 またプローブ先端近傍に備えられたセンサーでイメージングを行いながら、パタニングへのフィードバックとトポロジー情報を取得で...

メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社