3次元形状レーザ露光装置　※開発中

5軸ステージ制御による3次元形状へのマスクレスフォトリソグラフィを実現…

『3次元形状レーザ露光装置』は、5軸ステージ（直進3軸、回転2軸）構成により 様々な形状へ微細パターニングが可能です。 半導体レーザによる直接露光を行いますので、メタルマスクが不要で、研究・開発の 時間短縮、予算低減へ貢献します。 また、専用変換ソフトにより2D、3D CADで制作したデータを読込できます。 【特長】 ■5軸ステージ（直進3軸、回転2軸）構成 ■様々な形状...

メーカー・取り扱い企業： ネオアーク株式会社 東京営業部