高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

スチールベルトの使用例をご紹介！　アプリケーション集進呈中

PR実は多用途！　スチールベルトの使用例をご紹介！　搬送用や動力伝達用の事…

金属製のステンレススチールベルトは搬送や動力伝達など色々なところで使われています。 アプリケーション集ではイラストと共に10個の用途事例をご紹介。 用途事例毎に従来方式や問題点、SUSベルトの特徴や導入の効果を分かりやすく解説します。 【お困りの課題、問題点の紹介例】 　耐熱、伸び、清潔、発塵、精度、精密性、耐久性、連続化、 　エコロジー、平坦性、バタつき、生産効率、低摩擦、高剛性　など ※詳...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディムコ

超低振動２軸３軸一体型マイクロステップドライバー・ステッピングドライバー

ステッピング特有の振動を最大限に抑制し低速から高速まで安定した制御を実…

実現。３軸一体型（２軸一体型も御座います）の為、今まで実現不可能であったスペースにも設置が可能。特にＸ・Ｙ・Ｚ軸等、３軸駆動方式には抜群の威力を発揮します。低速重視の検査装置・半導体制御装置・ロボットアーム・医療機器・プリンター等、応用範囲は色々。 納得の低コスト化も実現。サンプル貸出しも随時おこなっております。実機にて一度お試しください。現在ご使用中のモーターをそのままお使いになれます。（５...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・プロジェット

ウェーハハンドリング装置（CHI-02型）

シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置…

ウェーハを真空吸着方式で取り扱います。 従来、作業者が手で行っていたウェーハのハンドリング作業を、この装置を使用することで、品質の向上を図ることができます。...・反転機能付きのツインアームロボットを使用することにより、効率よくウェーハの搬送が行えます。 ・P/N判定は接触式にて行います。 ・検査ステージでは ウェーハの吸着 前後の傾斜（片側最大約45°） 360°回転 ユニット全体...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

抵抗率測定機（RTS-02型）

抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類

シリコンウェーハの厚さと抵抗の測定を行い、指定された抵抗率の区分 または、抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類する装置です。 ...・カセットはローダ側12個アンローダ側15個設置可能です。 ・搬送はローダ、アンローダの搬送はシングルアームロボットを使用し真空吸着方式で搬送します。 ・測定データはパソコンに転送されます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

ウェーハ厚さ仕分け機（WTS-01,02型）

シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置で…

ツインアームロボットを使用することにより効率的な動作が可能になり短時間処理が可能になりました。 測定データはExcelファイルに自動保存します。 ...・ウェーハの厚さ測定位置は中心1点です。多点測定が必要な場合もご相談ください。 ・仕分けは同一ロットのカセットの中で並べ替えを行う方式ですので、仕分けランクが大きい場合は並べ替えを行わない割合が増え、従ってトータル処理時間は短縮します。 ・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム