３次元形状測定用ラインセンサCHROCODILE CLS2.0

非接触ラインセンサCLS第二世代。高精度・高速・広範囲の３次元形状測定…

LS2.0』は、951万ポイント/秒で非接触高速３次元形状測定を実現できます。分解能も最大Y2um, Z 0.05umと、非常に高精度な測定が可能。全世代品より、測定時間大幅短縮、ウエハエッジ、ワイヤボンダ、マイクロバンプ測定に適した高NA、光量アップなど大幅に改善。形状、表面粗さ、ステップハイト（厚み）、平坦度、ＴＴＶなど使い道は多数。卓上機だけでなく、In-Situ/モニタリング/インラインで...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社