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圧電材料/磁性材料対応のドライエッチング装置をご紹介!
日立ハイテクでは『イオンミリング装置』を取り扱っております。 小径の電極で大面積の加工が可能な「拡散ビーム型ミリング装置」と、 実験開発向けに特化した「R&D用小型ミリング装置」をラインアップ。 当社の豊富な経験からお客様を開発からサポート致します。 【特長】 <拡散ビーム型ミリング装置> ■小径の電極で大面積の加工が可能 ■φ100mmウェハ×6枚を全数同時処理可能 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社日立ハイテク
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