異常放電防止ユニット　A2Kシリーズ

高スループット！マスタースレーブ接続により大容量化が可能です。【アルバ…

A2Kシリーズは、反応性スパッタリングプロセスにおいて直流電源にプラス電圧をパルス印加し、ターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。 異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能。 A2K-20K、40Kは各々6台まで並列運転可能。複数台のA2Kの出力パルス同期が可能です。 既設装置にも簡単に取り付けでき、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。 【特徴...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.