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基板サイズは最大φ12インチ！当社独自ノズルのCO2ラバージェットノズ…
『CO2スプレー洗浄装置』は、真空環境での洗浄のため低露点環境で CO2洗浄ができます。 当社独自ノズルのCO2ラバージェットノズルを使用。 個体CO2粒子速度と粒子密度の可変ができ、好適な洗浄条件を提案可能です。 マイクロレンズ上のパー...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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