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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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【GH タイプVENT】 弊社、株式会社サム・コーポレーションが日本国内総合販売契約を結んでおります中国のGHタイプVENTメーカーは、 25年以上各種機械や部品などの製品を扱っています。 特に、GH type Ventをはじめとする各種機械及び部品製造関連消耗品において、 OEM生産を通じ、中国国内はもとより海外においても長年多くの取引実績があります。 高い技術力、耐久性にも優れており、さ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サム・コーポレーション
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