バッチ式FCVA装置

自公転式サンプルホルダーを採用！カスタマイズ可能なバッチ式大型コーティ…

当社で取り扱っている『バッチ式FCVA装置』をご紹介します。 自動車部品やプリンター部品等の摺動部品への成膜に有効に 用いられています。 自公転式のサンプルフォルダーにより、均一な膜厚分布を示しています。 【特長】 ■自公転式サンプルホルダーを採用 ■カスタマイズ可能 ■生産性の向上に寄与 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン

インラインコーティングシステム（FCVA）

スパッタとの組み合わせも可能！大量生産に適したインライン式FCVA装置…

イオンビームによる基板クリーニング機構です。 【特長】 ■FCVAとスパッタを装備 ■ヒーター、イオンビームによる基板クリーニング機構 ■DC、MF、RFのスパッタ電源が選択可能 ■自公転タイプサンプルフォルダー ■チャンバー数を任意に選定可能 ■最大基板サイズ：φ900mm x 500mm(H) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン