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真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能です!
当社では、真空蒸着装置と高速分光エリプソメータを組み合わせた 『有機デバイス蒸着装置 真空エリプソメーター蒸着装置』の設計・製造・販売を行っております。 【特徴】 ○真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能 ○蒸着室 寸法:280mm(幅)x290mm(奥行き)x410mm(高さ) ○エリプソメーター取り付けフランジ:角度選択可能(100度/120度/140度) ○アルミニウム製扉:覗き窓(...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイエルエステクノロジー
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